“那富勒烯的量產……”另一個人問。

    “雷電科技今年開春已經放出消息石墨烯量產。”宋問聲沒有說富勒烯，而只是提了一句石墨烯，就開始收拾資料，準備去實驗室熟悉一下情況。

    他的未盡之語大家都明白了。

    唉，碳納米管、石墨烯、富勒烯……這些東西就像是大佬掌心的玩物，想怎么揉搓就怎么揉搓。

    吳勇小聲地對曹能能說了一句，“還是你機靈，咱找了個好大腿！”

    曹能能有些許得意，“那是！”

    要想提高精度，和之前一樣光靠富勒烯是不行了。

    他們接下來的目標是幾種富勒烯衍生物，一樣是帶酚基的，一樣是含金剛烷還有其他若干。

    甚至是非富勒烯體系的，也在他們研究之列。

    一些則是現在普遍用的光刻膠，一些是國內學者研究地很多的9，9\'-螺二芴衍生物和雙酚a衍生物，還有一些分子玻璃膠、酚醛樹脂膠等等。（1）

    這些都在他們的考察之列。

    宋問聲不可能因為自己有資料，就放棄研究其他的東西。

    這樣會故步自封。

    起得比雞早，睡得比狗晚，大概就是他們這樣的了，就連飯是在等待實驗的時候吃。

    最忙碌的應該是宋問聲。

    他親自指點那幾個研究員合成富勒烯系列的衍生物，有時候還要去看看其他人合成得怎么樣。

    而曹能能和吳勇他們也是各自帶領人研究別的，他們的經驗也只是對別的，富勒烯這邊他們插不上什么手。

    有了宋問聲時不時的指點，他們整個光刻膠小組每三天工作進度匯報上，永遠都是走在最前列的。

    時間只有六個月。

    進入221項目大半個月的時候，他們的帶酚基富勒烯光刻膠就已經驗收成功，可以用在10nm-14nm的芯片制造當中。

    這件喜事被迅速通報給全基地，給研發光刻機陷入低迷狀態的研究員們帶來一些鼓勵和安慰。

    在得知這是宋問聲領導的小組之后，眾人只有膜拜和感慨幾個詞語來形容他們此時此刻的心情了。

    宋問聲不愧是論文刷子！

    不，應該說是科研殺手，在你意想不到的時候總是給人來那么一下，帶來的不是絕望而是希望。

    有了這件事情當做典型，基地里的許多研究員再次拾起剛來的時候的雄心壯志，重新上路。

    曹能能和吳勇他們也在加緊，但是他們不是宋問聲，沒有那種如有神助的科研直覺和系統，只能靠他們的科研經驗摸索。

    他們也很不錯，在一個月內，把以前使用的金屬氧化物的聚合物光刻膠的精度提高到了可以在65nm-90nm的芯片制造當中使用，當然這里頭離不開宋問聲的指點。

    本來有些小得意的他們，很快又被宋問聲打敗。

    富勒烯衍生物 im-mfpt在制程10nm以內表現出了比含酚基的富勒烯光刻膠更好的靈敏度和分辨率、低線寬粗糙度、高耐蝕刻性和工業加工相容性。（1）

    而宋問聲他們也迅速突破到了精度為5-10nm之內的芯片制造所使用的光刻膠。

    作者有話說：

    （1）來自于《7 nm 高分辨率極紫外光刻膠研究新進展》，譚俊玉；

    （2）看到新聞說要有3nm的光刻機量產了，我心里一陣著急；

    （3）富勒烯量產是個漏洞，我都忘記了，現在只能幾句話補回來，前頭光刻膠測試的時候忘記提一提中芯國際和芯片流片的問題了，大家忽略吧。

    （4）謝謝大家的支持！感謝在2022-08-18 23:53:28-2022-08-20 20:17:10期間為我投出霸王票或灌溉營養液的小天使哦——

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    非常感謝大家對我的支持，我會繼續努力的！

    第173章 各懷鬼胎

    這件事情報到應富華那里, 他也不敢相信，馬上就站了起來，打算去看看宋問聲那里的情況。

    他一直沒有對光刻膠小組進行太多管教，一個是因為光刻膠研究其實獨立在光刻機之外也可以進行, 還有一個原因就是上面想再看看宋問聲單獨帶領一個小組做項目會是什么樣子。

    宋問聲已經有過多次組織實驗項目的經驗, 領導一個小組和領導一個課題組對于他來說區別不大, 只要他一日是諾獎得主，一日他都帶有光環, 這些人一日都不敢小瞧他。

    他甚至覺得他可以自己開發出一個「震懾」的技能。

    上回只是部分工程師來驗收成果，這一回是總工程師應富華帶隊，可想而知應富華對這件事情的看重程度。

    來的時候，應富華也沒有說什么, 只是跟在專業的研究人員后面，看他們驗收成果。

    驗收成果不是一朝一夕, 如果是在外面的實驗室，可能需要拿去專門的實驗室里去驗證，但是在這里，不需要。

    他們有自己的渠道。

    而結果，明天會得出來。

    一些基本數據是沒有問題的, 真刀真槍還是要顯露在光刻機上，在芯片上。

    應富華拍拍宋問聲的肩膀, “宋院士這是狀態正佳。”

    宋問聲謙虛的笑了笑，“之前進行過相關研究, 也對后續有些設想, 現在能夠實現出來, 證明我的想法是對的。”

    應富華看了看整個光刻膠實驗室里的研究員都走出來看他們了, 臉上有些微的笑容, 不多，轉瞬即逝，最后還是端起了威嚴的架子，“想吃什么想喝什么，和警衛員說，讓他們采購，就當做是犒勞了。”